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mlase醫學和工業用緊湊型準分子激光器
MLase準分子激光器覆蓋波長(193納米、248納米、308納米),能量范圍每脈沖200毫焦耳或脈沖重復率達1000赫茲
MLase的激光器服務于的工業過程。通過模塊化設計方法,
波長:193納米、248納米(可根據要求提供其他波長:157納米、308納米、351納米)
水冷選項
重復率可達1 kHz
MLase這些準分子激光器的工業應用包括:
光纖布拉格光柵的寫入(FBG)
光學檢測和計量,如測試微光學器件
激光結構化和劃線
陶瓷、金屬或塑料等材料的微加工
激光燒蝕/脈沖激光沉積(PLD,ICP-MS)
在用于檢查掩模或直接晶片處理的半導體制造中